JEL SCR3160CSN
晶圓搬運機械手臂
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂(采用閉環位置控制)
產品特點
在閉壞控制方式機械手臂加上多軸規格
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進電機常見的丟步問題，適用于2寸-12寸晶圓傳輸的新型單臂機械手
電機配備絕對值編碼器，實時反饋位置信息，無需尋原點
無需更換電池的絕對值編碼器
可搬運重量：手臂第3關節處基準3kg以下
機械手臂標準臂長：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根據設備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option）
