JEL SWCR3160CS
晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂 (防水式）
產(chǎn)品特點(diǎn)
防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）
在保護(hù)等級(jí)IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈
零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條
Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式： 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供手指
