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JEL 晶圓校準器 SAL3262HV 芯鈦科半導體設備（上海）有限公司

JEL SAL3262HV
晶圓校準器
產品特點
適用于2-6寸晶圓
可適用于硅片，帶BG膠帶（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準
使用自主研發的圖像識別傳感器，采用了控制器和電機驅動器集成到設備本體內部的一體化設計
可以根據晶圓尺寸，材質更改Spindle的直徑，形狀和材質可以使用伯努利吸附方式
控制方式：串口RS232C或者并口I/O方式
不符合SEMI規格的缺口，缺邊形狀也可以提供定制設計
能夠為Spindle增加Z軸以滿足對晶圓進行升降的需求
可選擇帶Z軸的校準器
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