STK-3200
全自動(dòng)晶圓倒片機(jī) 晶圓傳片機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
可用于傳輸150mm/200mm 晶圓
適用于6寸、8寸晶圓
滿足ISO Class1潔凈等級
模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)成本低
設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小
設(shè)備符合SEMLS2及SEMLF47標(biāo)
可根據(jù)客戶需求定制開發(fā)FA
可選配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 機(jī)械手EE
高度定制化，可根據(jù)客戶需求非標(biāo)定制
